主要用于倒装芯片的热压共晶机,可用于IC,光通讯器件,激光器件的共晶
特征
高精度焊接±2µm(3σ)
支持微芯片处理
通过自动校准机构消除随时间的位置变化,使精度稳定
通过参数化顺序控制,可以容易地编程控制负载、温度和各个定时
支持基于载荷反馈方式的高精度载荷控制
以共晶接合为首,通过丰富的选项设定,可以容易地应对各种施工方法
特征
高精度焊接±2µm(3σ)
支持微芯片处理
通过自动校准机构消除随时间的位置变化,使精度稳定
通过参数化顺序控制,可以容易地编程控制负载、温度和各个定时
支持基于载荷反馈方式的高精度载荷控制
以共晶接合为首,通过丰富的选项设定,可以容易地应对各种施工方法


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