FLIP CHIP共晶机FDB350
对应的高精度按钮。
加热用的加热器搭载了新开发的激光加热器。
与以往的加热器相比，可以高速升温和冷却。
特点
利用激光加热器实现高速升温、冷却。
加热器的温度变形非常少，在接合时可以进行高精度的间隙控制
高精度焊接±2μm（3σ）
通过自动校准机构取消时间位置变化以稳定精度
- 产品参数
对应的高精度按钮。
加热用的加热器搭载了新开发的激光加热器。
与以往的加热器相比，可以高速升温和冷却。
特点
利用激光加热器实现高速升温、冷却。
加热器的温度变形非常少，在接合时可以进行高精度的间隙控制
高精度焊接±2μm（3σ）
通过自动校准机构取消时间位置变化以稳定精度
| 型号 | FDB350 |
| 适合品种 | Memory / logic / analog device /TSV chip |
| 基板尺寸 | Max.12英寸晶圆 |
| 芯片供给方式 | Max.12英寸晶圆 |
| 芯片加热方式 | 激光热 |
| 基板加热方式 | 连续热 |
| 接合负载 | 1～100N |
| 搭载精度 | ±2µm (3σ) |
| 装置尺寸 | 2690(W)X1990(D)X2000(H)mm （基板晶圆供给部除外） |
| 装置质量 | 2200kg |
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