一、整机结构

• 进口高精密丝杆导轨，机械刚性强，使用寿命长，同时与光栅尺组合实现运动全闭环控制。
  
• 采用仪用大理石平台与整机下沉模式，保证运行的平稳性。
  
• 自主研发的实时称重式主动电极寻边器，能有效的控制好每次测试时探针与电极之接触力度，保证针痕的一致性。
  
• 自主倒装收光结构，具有更高的光学灵敏度与精度。
  
• 多针设计，可实现多颗同时测量之要求，提高机器的测试产能。
  
• 具有自动清针功能。
  
• 机器配置有4x针痕拍照相机，生产中自动拍摄针痕确认功能，保证稳定生产。
  

二、功能特色

• 通过XY移动，光栅尺精确定位，主动探针座下探进行测试。
  
• 通过基准面定位，弹簧压住基板进行压紧，毛刷自动清针。
  
• 探针座有力感应器，可以保证针压一致和测试稳定性。
  
• 配备高倍扫描相机，可通过图像进行定位。
  
• 配置针痕拍照相机，以观察针痕大小和偏针情况。
  
• 通过电机定位积分分球的高度，可自动切换滤光片。